株式会社工研は高精度な位置決めを得意とする精密機械の設計・製造会社です。

精密位置決めテーブル

キサゲやハンドラップといった製造技術と高精度な測定
技術を基にした精密位置決め機構をコアテクノロジーに
半導体産業やFPD産業に貢献してきました。お客様の用
途向けにオーダーメイドのシステムを提供いたします。
●半導体検査装置用ステージ
●FPD検査装置用ステージ
●SEM用真空対応ステージ
●レーザ加工機用ステージ

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各種FAシステム

　技術革新の激しいハイテク産業は絶え間のない設備投資
　を必要とします。そのため高度で独創的な自動化技術は
　不可欠。工研では高精度なメカニズムとモーションコン
　トローラやPLCによる制御技術の融合によりさまざまな
　自動化、省力化機器の製作が可能です。
　●半導体搬送装置
　●FPD搬送装置
　

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